硅料烘干設備在太陽能硅片的生產過程中，需使用大量的原始硅料，但原始硅料的表面往往沾附著一些雜質，該雜質會影響到 終硅片的純度，因此原始硅料投爐使用前需進行清洗處理，以去除硅料表面的雜質，提高硅錠/棒的質量。通常在硅料清洗后，需對其進行烘干處理，以去除附著在硅料表面的水分。目前常用的烘干方式為加熱器加熱烘干，如CN101749929A所公開的硅料專用烘箱使用熱傳導方式，將硅料放置在周轉箱上，利用熱空氣為熱載體，通過熱對流、傳導的方式將熱量傳遞給硅料，硅料表面的水分吸收空氣傳遞過來的熱量，蒸發并逸出，使物料表面干燥。但該加熱方式的熱量總是由表及里進行傳遞加 熱，硅料內外存在溫度梯度，加熱不均勻，產生局部過熱，影響烘干質量；且整體環境溫度高，熱量損失大，熱能利用效率低；升溫輔助時間長，生產效率低。
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